KLA纳米压痕仪产品介绍：
KLA iNano纳米压痕仪可轻松测量薄膜、涂层和少量材料。该仪器准确、灵活，并且用户友好，可以提供压痕、硬度、划痕和通用纳米级测试等多种纳米级机械测试。该仪器的力荷载和位移测量动态范围很大，因而可以实现从软聚合物到金属材料可重复测试。模块化选项适用于各种应用：材料性质分布、特定频率测试、刮擦和磨损以及高温测试。KLA iNano纳米压痕仪提供了一整套测试扩展选项，包括样品加热、连续刚度测量、NanoBlitz3D/4D属性映射和远程视频选项。
KLA纳米压痕仪优势：
模块化设计,既具有宽泛的测试功能，又可提供高通量的自动化测试功能，并配有统计数据分析包，适用于纳米力学性能测量、扫描探针显微成像、高温测量和IV电压电流特性测试实时的实验控制，简单易用的测试流程开发和测试参数设置。
标准的InForce50电磁驱动器。
集成高速控制器电子设备完成数据采集高达100kHz，捕获材料瞬间的响应，例如锯齿流变和断裂现象。仪器使用工业界短时间常数20μs，快速捕捉材料瞬间的真实响应。
集成了噪音隔离功能的刚度框架，可确保对各种材料进行准确测量。
数码变焦的高分辨光学显微镜，详尽定位样本。
纳米压痕专家在线讲授专业纳米压痕课程，以及移动应用程序能够提供测试方法的实时更新。
测量原理：
KLA iNano纳米压痕仪采用特定几何形状的金刚石压头以载荷准静态压入材料表面，实时记录加载-卸载过程中的载荷与压入深度变化，生成?载荷-位移曲线?，通过曲线分析结合力学模型，计算材料的纳米硬度和弹性模量等参数。
主要应用：
硬度和模量测量(Oliver-Pharr)
机械表征在薄膜的加工和制造中至关重要，其中包括汽车工业中的涂层质量，以及半导体制造前段和后段的工艺控制。
KLA iNano纳米压痕仪能够测量从超软凝胶到硬涂层的各种材料的硬度和模量。对这些特性的高速评估保证了在生产线上进行质量控制。
高速材料性质分布
对于包括复合材料在内的许多材料，其机械性能可能因部位而异。KLA iNano纳米压痕仪的样品平台可以在X轴和Y轴上移动100mm，并在Z轴方向移动25mm，这使得该系统适用于不同的样品高度并可以在很大的样品区域上进行测量。可选的NanoBlitz形貌和层析成像软件可以快速绘制任何测得的机械属性的彩色分布图。
ISO14577硬度测试
KLA iNano纳米压痕仪包括预先编写的ISO14577测试方法，可测量符合ISO14577标准的材料硬度。该测试方法对杨氏模量、仪器硬度、维氏硬度和标准化压痕进行自动测量和报告。
聚合物TanDelta、储存和损失模量
KLA iNano纳米压痕仪能够针对包括粘弹性聚合物的超软材料测量tandelta和储存与损耗模量。储存与损耗模量以及tandelta是粘弹性聚合物的重要特性，其能量作为弹性能量存储并作为热量消耗。这两个指标都用于测量给定材料的能量消耗。
高温纳米压痕测试
高温下的纳米压痕对于表征热应力下的材料性能至关重要，特别对热机械工艺中的失效机理进行量化。在机械测试期间改变样品温度不仅能够测量热引起的行为变化，还能够量化在纳米级别上不易测试的材料过渡塑性。
KLA纳米压痕仪
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